制造先進芯片需要近乎完美的晶體材料，外延設備是生長晶體材料的關鍵設備，廣泛應用于集成電路、功率器件、硅材料、第三代半導體等領域。
作為中國外延工藝裝備技術的開拓者，北方華創（002371）早在2010年就啟動外延裝備的研發工作，經過十余年的技術沉淀與創新突破，已發布20余款量產型外延設備，累計出貨近1000腔。
【資料圖】
Excellent
品全質優
從2012年首臺硅外延設備成功進入客戶端至今，北方華創已然形成具有核心技術優勢的品類齊全、應用廣泛的外延設備系列化產品。
具備多種材料外延生長技術能力：包括單晶硅、多晶硅、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、磷化銦（InP）等，覆蓋集成電路、功率器件、射頻、半導體照明等領域應用需求。
— NAURA外延工藝一覽表 —
實現4英寸到12英寸全覆蓋：包括8英寸及以下的單片及多片大產能硅外延設備、12英寸硅外延設備、4/6/8英寸碳化硅外延設備、8英寸及以下單片及多片大產能硅基氮化鎵外延設備。
— 4-12英寸單片/多片外延設備圖示 —
Popular
譽滿行業
勵精圖治，經過十余年在技術和市場方面的積累，北方華創的外延產品業績斐然，不斷贏得客戶和產業界的好評。
公司在外延領域最早問世的8英寸硅外延設備，打破了行業的競爭格局，成為了行業內主流Baseline（基準）產品，將產業發展推向全新高度，問世至今幾乎斬獲國內市場全部訂單。
12英寸常壓硅外延設備突破了一系列關鍵技術，獲得了市場的廣泛認可：在功率器件領域，截至當前已在客戶端連續量產超過20萬片；在硅材料領域，已在多家客戶端實現穩定量產，各項關鍵指標達到國際主流水平。此外，憑借優異的工藝性能和市場化業績，產品于2022年榮獲中國集成電路創新聯盟第五屆“IC創新獎”。
面向投資火爆的碳化硅領域，北方華創憑借深厚的技術積累，快速開發了碳化硅外延產品，目前產品已實現近200臺的銷售，占據市場半壁江山。面向8英寸碳化硅市場，北方華創前瞻性開發的6/8英寸兼容多片碳化硅外延設備也即將投入市場，將大幅降低客戶運營成本，引爆新一輪市場熱潮。
Innovative
常研常新
自2010年以來，北方華創對標行業前沿科技，精研市場及客戶需求，通過持續創新，突破并優化了氣流場、加熱場、氣路系統、溫度控制、壓力控制、運動系統等一系列關鍵技術，并可針對客戶需求進行定制化研發。
多區控溫技術，可提升外延層的結晶質量，優化外延層的摻雜分布，滿足多種不同的技術要求。
高溫潔凈腔室技術，可降低晶體雜質與缺陷，提升器件層的晶體質量，提升器件性能。
多區水平氣流場設計，實現單向層流，無反流湍流，可拓寬外延工藝窗口，提高外延界面質量，實現外延膜層的可控和器件的高性能。
常壓與減壓下的加熱場與氣流場的仿真技術，提升了工藝腔室的設計效率，為解決具體問題提供了理論支持。
北方華創將始終堅持對行業前沿科技的探索與研究，致力于打造具有前瞻性的專業技術與解決方案，以精良的外延設備與創新的專業服務為客戶創造價值，推動產業進步，創造無限可能！
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